用于半导体应用的多孔金属垫片过滤器保护精密气体系统的可靠解决方案：（1）这种全金属过滤器专为半导体气体分配系统设计，可与 1/4“ 、3/8” 和 1/2" VCR 标准垫片接口无缝兼容。（2） 垫圈式设计确保安装简便，是 MFC...

保护精密气体系统的可靠解决方案：（1）这种全金属过滤器专为半导体气体分配系统设计，可与 1/4“ 、3/8” 和 1/2" VCR 标准垫片接口无缝兼容。2） 垫圈式设计确保安装简便，是 MFC(质量流量控制器)模块、精密阀门和压...

KF系列真空系统气体过滤器易于安装于真空系统，特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程有效提升产品产量和设备吞吐量。在规范安装及操作条件下，可确保产品完整性达3,000,000次循环。该过滤器广泛应用于半导体设备接口(如CVD、PVD、E...

扩散器专用过滤器，专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。独特的全316L不锈钢结构，不仅确保高效过滤，更巧妙的规避了湍流产生，对工艺室...

RF系列多孔金属限流器RF系列多孔金属限流器，通过与不同规格的气阻配件结合，安装在压缩气体供应管线和气体分配歧管中，以防止由于气体管线破裂、阀门或压力调节器故障，引起的意外高气体流量。在半导体制程气体输送分配系统中，用于保护气体流量稳定可靠...