MSF系列仪器保护专用过滤器，全金属材质，专为半导体气体分配系统设计，兼容114”、3/8”及1/2‘‘MSF标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装，是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃环境下，能有效阻隔微粒...

MSF系列仪器保护专用过滤器、全金属材质、专为半导体气体分配系统设计、兼容114”、3/8”及1/2”MSF标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装、是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃环境下、能有效阻隔微粒侵...

TF系列工艺气体专用过滤器，专为半导体领域设计，精准清除UHP超纯气流微粒，保障生产纯净度。其安装简便，仅需气路对接与螺母紧固，避免焊接风险，确保密封无忧。采用顶级316L不锈钢全材打造结构紧凑轻盈，大幅降低压力损耗，展现卓越微粒过滤效率，...

KF系列真空系统气体过滤器易于安装于真空系统，特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程有效提升产品产量和设备吞吐量。在规范安装及操作条件下，可确保产品完整性达3,000,000次循环。该过滤器广泛应用于半导体设备接口(如CVD、PVD、E...

恒歌0F系列在线式专用气体过滤器是专为高流量电子级气体超纯净化设计的高效过滤设备。其过滤精度高达0.003μm，能够有效去除气体中的微小颗粒和杂质，确保气体的超高纯度。该系列过滤器采用全焊接316L不锈钢外壳，结构紧凑、强度高，与多种半导体...

恒歌在线式大宗气体系统过滤器专为半导体工艺气体净化设计，凭借卓越的过滤性能、可靠的结构设计与严格的质量管控，成为半导体行业去除工艺气体中颗粒的优选设备，为半导体生产过程中的气体洁净度提供优质保障，助力提升半导体产品质量与生产稳定性。

RF系列多孔金属限流器RF系列多孔金属限流器，通过与不同规格的气阻配件结合，安装在压缩气体供应管线和气体分配歧管中，以防止由于气体管线破裂、阀门或压力调节器故障，引起的意外高气体流量。在半导体制程气体输送分配系统中，用于保护气体流量稳定可靠...

恒歌SF系列IGS面板专用过滤器是专为半导体行业集成气体输送与控制系统设计的高性能气体过滤设备。该过滤器采用全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑的体型融合了全焊接与机械密封技术，确保了过滤器的高可靠性和长寿命。其过滤精度高达0.003μm，...

恒歌纳米级高压气体专用过滤器，专为半导体制程中的高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统量身打造。其采用坚固的 316L 不锈钢整体结构，设计压力达 50Mpa，重量相对较轻，实现轻量化与小型化，减少安装空间，通过螺纹连接确保密封性，兼容 C...

直线过滤器采用316L不锈钢材质，线型结构紧凑，用于空间受限的环境下过滤气体或液体中的微固体，以保护下游流体设备。最高工作压力可达207bar；最高工作温度204℃；多种过滤精度：2-5微米，5-10微米，20-40微米。广泛应用于实验室、...

HF系列高压气体专用过滤器，用于半导体制程中高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统。坚固的316L不锈钢结构和50Mpa设计压力以及相对较轻的重量相结合，兼具高强度、耐高温、耐腐蚀、高透气性及长寿命，能高效滤除压缩空气中的尘埃、铁锈、油雾及...