过滤器

恒歌0F系列在线式专用气体过滤器是专为高流量电子级气体超纯净化设计的高效过滤设备。其过滤精度高达0.003μm，能够有效去除气体中的微小颗粒和杂质，确保气体的超高纯度。该系列过滤器采用全焊接316L不锈钢外壳，结构紧凑、强度高，与多种半导体...

采用316L金属不锈钢粉末为原材料，经冷等静压成型后，通过高温真空烧结制成。通过选配金属粉末颗粒尺寸与工艺参数，调整孔隙大小与分布。恒歌可提供不同材质和尺寸的烧结金属粉末元件，可以在较恶劣的温度、压力和腐蚀工况下使用；

不锈钢过滤器滤芯是由不锈钢粉末经高温烧结而成的多孔、微孔过滤材料，该滤芯一般为管状、片状过滤元件，我司可提供单口管、通管、焊接各种法兰、管嘴，焊接管、卷焊管，滤片、滤环、滤棒，滤锥、滤板、带材及各类不锈钢粉末烧结异形多孔过滤元件等

在高温、高压及腐蚀性介质环境中，传统滤网或普通滤芯往往难以长期稳定运行。不锈钢过滤管采用不锈钢金属粉末高温烧结一体成型工艺制造，结构致密稳定，孔径均匀可控，专为工业级气体、液体及粉体过滤系统设计，满足严苛工况下的高强度、高精度过滤需求。

烧结网过滤器由多层烧结不锈钢丝网板制成。多层不锈钢丝网通过高温真空烧结制作而成，孔径的大小和分布是通过选择不同的丝径、目数、网层和丝网的编织方法来决定的。烧结工艺带来了优异的机械性能.

恒歌在线式大宗气体系统过滤器专为半导体工艺气体净化设计，凭借卓越的过滤性能、可靠的结构设计与严格的质量管控，成为半导体行业去除工艺气体中颗粒的优选设备，为半导体生产过程中的气体洁净度提供优质保障，助力提升半导体产品质量与生产稳定性。

微米级不锈钢粉末烧结滤芯内外管壁均光滑平整，气孔分布均匀大小一致，强度好，过滤精度0.2-120微米可选。广泛应用于环保、石油、天然气、化工、环境探测、仪器仪表、制药器械等领域。有十万种以上的产品尺寸规格和类型可供选择，也可根据需要定制加工...

恒歌SF系列IGS面板专用过滤器是专为半导体行业集成气体输送与控制系统设计的高性能气体过滤设备。该过滤器采用全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑的体型融合了全焊接与机械密封技术，确保了过滤器的高可靠性和长寿命。其过滤精度高达0.003μm，...

在半导体、LED、光伏及MEMS等高科技产业中，气体的纯度对产品质量和生产效率有着至关重要的影响。恒歌科技凭借其在多孔金属材料和精密烧结工艺领域的深厚积累，精心打造了专为高流量电子级气体超纯净化设计的特气柜电子气气体过滤器，为这些行业提供了...

​恒歌高压气体过滤器主要用于过滤空气、氧气、二氧化碳、氢气、氮气等各类高压气体，能够有效去除气体中的颗粒物、水分、油分等杂质，确保气体的纯净度和质量，为下游工艺提供可靠的气体供应。

深圳恒歌的真空卡环过滤器，是真空系统中不可或缺的部件。它不仅能够有效减少工艺腔体排气时的湍流，还能在短时间内传递大量气体流，确保真空系统的高效运行。特别适用于半导体设备接口及各类真空室的通风，无论是CVD、PVD、Etch还是Epi工艺，都...

半导体洁净室对气路系统的密封性要求极高，任何微小的泄漏都可能导致洁净度下降，影响产品质量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型过滤器(W 型一体式过滤器)，以全焊接结构设计为核心，实现了 “零泄漏” 的密封效果，为半导体洁净室提供可靠的工艺...