
KF系列真空系统气体过滤器易于安装于真空系统,特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程有效提升产品产量和设备吞吐量。在规范安装及操作条件下,可确保产品完整性达3,000,000次循环。该过滤器广泛应用于半导体设备接口(如CVD、PVD、E...

0F系列在线式专用气体过滤器,专为高流量电子级气体超纯净化设计,过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高,与多种半导体工艺气体兼容,尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳,确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容...

BF系列大宗气体专用过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003um,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决...

VCR(Vacuum Coupling Retainer)过滤垫片气体管路密封限流接头是一种用于气体管路连接的部件。它主要起到密封、过滤和限流的作用。

HF系列高压气体专用过滤器采用316l不锈钢经高温烧结制成,具有良好的机械性和刚性,耐高温、耐腐蚀、透气,易于清洁的特点;滤芯式的设计可更换滤芯,可以重复使用,使用寿命长;可去除压缩空气中的油、水、异物等杂质,改善下游干燥机的功能,延长精密...