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在微电子半导体晶圆制程中,工艺气体的供应效率与过滤质量是提升生产效率的重要因素。深圳恒歌推出的微电子半导体晶圆制程工艺气体过滤终端 316L 外壳快速进气扩散器,将扩散器的快速进气特性与高效过滤功能相结合,为晶圆制程提供高效、洁净的气体供应...

这款半导体制造超纯气体扩散器,巧妙地结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性。其过滤精度可达 0.003um,能够精准地拦截气体中的微小颗粒,为半导体制造提供超纯的气体环境。无论是光刻、刻蚀还是沉积等工艺,都离不开这样高纯度的气...

在半导体洁净室这一特殊生产环境中,工艺气体过滤器不仅需要具备精准的过滤能力,还需拥有出色的耐用性和抗污染能力,以适应长期稳定的洁净生产需求。深圳恒歌TF系列工艺气体专用过滤器中,以316不锈钢卡套过滤器为代表的产品,凭借顶级316不锈钢材质...

深圳恒歌的真空卡环过滤器,是真空系统中不可或缺的部件。它不仅能够有效减少工艺腔体排气时的湍流,还能在短时间内传递大量气体流,确保真空系统的高效运行。特别适用于半导体设备接口及各类真空室的通风,无论是CVD、PVD、Etch还是Epi工艺,都...
