高纯气体过滤器

​在半导体、光伏、新能源和制药行业，超高纯气体过滤器已成为气体输送系统中不可或缺的组件。国际半导体设备与材料协会(SEMI)在 F20 与 F38 标准中明确指出，气体管道中颗粒物浓度必须严格控制，否则将直接影响工艺良率和设备寿命。随着芯片...

恒歌高纯高压气体专用过滤器是专为半导体制程中的高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统设计的高性能过滤设备，过滤精度高，耐高压耐腐蚀耐高温！

恒歌气体纯化过滤器采用不锈钢316L制成，通过物理吸附相结合的方法在常温下将工艺气体中的H20，O2，CO，CO2，NMHC等杂质去除，并且在316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为3纳米到100微米的颗粒过滤器。

恒歌高压气体专用过滤器、用于半导体制程中高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统。坚固的316L不锈钢结构和50Mpa设计压力以及相对较轻的重量相结合、兼具高强度、耐高温、耐腐蚀、高透气性及长寿命、能高效滤除压缩空气中的尘埃、铁锈、油雾及碳氢...

电子气作为半导体制造的 “血液”，其纯度直接影响芯片的质量与性能。深圳恒歌的特气柜电子气气体过滤器，专为半导体制程中的高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统打造，为电子气的洁净输送提供坚实保障。

在半导体制造过程中，气体的纯度是影响产品质量的关键因素之一。深圳恒歌的BF系列大宗气体专用过滤器，专为超高纯工艺气体在线过滤而设计，能够有效去除气体中的杂质，确保气体的超高纯度。

在工业生产中，压缩空气系统的气体质量直接影响到生产设备的运行效率和产品质量。深圳恒歌的压缩空气系统不锈钢高纯气体过滤器，以其卓越的性能和高效过滤能力，成为提升气体质量的关键设备。该过滤器采用坚固的316L不锈钢结构，设计压力高达50Mpa，...

适用于高压工况下的气体及液体过滤，体积小，安装方便，为高压运行系统提供了相当高的技术和经济优势。产品应用范围广，与大多数高纯度半导体工艺气体具有良好的兼容性；微纳米颗粒过滤能力保持高流量效率，超小压降

恒歌不锈钢高纯气体系统过滤器对于超纯气体可通过多级处理满足工况要求，产品无焊接部位，耐压性能、安全系数极高，适用于高压工况下的气体及液体过滤，体积小，安装方便，为高压运行系统提供了相当高的技术和经济优势。为一些超高压工况研发设计，具有结构简...

​恒歌高压气体过滤器主要用于过滤空气、氧气、二氧化碳、氢气、氮气等各类高压气体，能够有效去除气体中的颗粒物、水分、油分等杂质，确保气体的纯净度和质量，为下游工艺提供可靠的气体供应。

扩散器专用过滤器，专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。独特的全316L不锈钢结构，不仅确保高效过滤，更巧妙的规避了湍流产生，对工艺室...

半导体气体过滤器_超高压氮气氢气高纯过滤器大型设备