卡套直通过滤器_不锈钢气体过滤器_精密高效工艺气体过滤器

TF系列工艺气体专用过滤器、专为半导体领域设计、精准清除UHP超纯气流微粒、保障生产纯净度。其安装简便、仅需气路对接与螺母紧固、避免焊接风险、确保密封无忧。采用顶级316L不锈钢全材打造、结构紧凑轻盈、大幅降低压力损耗、展现卓越微粒过滤效率、是工艺气体净化的理想之选。

产品特点

▶ 整体316L不锈钢结构

▶ 高通量、低阻力

▶ 超高颗粒拦截率

▶ 耐高温、耐高压、耐腐蚀、适用于多种工艺气体、适用于洁净室环境内制造、测试、包装100%完整性测试

▶ 100%氨气检漏测试

F型直通式过滤器

1、结构紧凑，节省空间

2、工作压力可达: 207bar(3000psig)

3、工作温度:-28~ +482℃

技术参数