高纯气体过滤器

恒歌高压气体过滤器主要用于过滤空气、氧气、二氧化碳、氢气、氮气等各类高压气体，能够有效去除气体中的颗粒物、水分、油分等杂质，确保气体的纯净度和质量，为下游工艺提供可靠的气体供应。

在现代工业生产中，真空系统气体过滤器对于保障工艺的纯净度和稳定性至关重要。恒歌KF系列真空系统气体过滤器凭借其卓越的性能和广泛的应用场景，成为众多高科技产业的首选设备。

DF系列扩散器专用过滤器专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。它结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，能够有效减少工艺腔体排气时的湍流，确保气体的平稳流动。这种过滤器的过滤精度高达0.003μm，能够有效防止气流吹起...

恒歌SF系列IGS面板专用过滤器是专为半导体行业集成气体输送与控制系统设计的高性能气体过滤设备。该过滤器采用全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑的体型融合了全焊接与机械密封技术，确保了过滤器的高可靠性和长寿命。其过滤精度高达0.003μm，...

MF系列仪器保护专用过滤器、全金属材质、专为半导体气体分配系统设计、兼容114”、3/8”及1/2”VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装、是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃环境下、能有效阻隔微粒侵袭...

TF系列工艺气体专用过滤器，专为半导体领域设计，精准清除UHP超纯气流微粒，保障生产纯净度。其安装简便，仅需气路对接与螺母紧固，避免焊接风险，确保密封无忧。采用顶级316L不锈钢全材打造结构紧凑轻盈，大幅降低压力损耗，展现卓越微粒过滤效率，...

TF系列工艺气体专用过滤器、专为半导体领域设计、精准清除UHP超纯气流微粒、保障生产纯净度。其安装简便、仅需气路对接与螺母紧固、避免焊接风险、确保密封无忧。采用顶级316L不锈钢全材打造、结构紧凑轻盈、大幅降低压力损耗、展现卓越微粒过滤效率...

SF系列IGS面板专用过滤器，用于半导体行业集成气体输送与控制系统，兼容C型和W型多种密封规格，实现0.003um级高效颗粒过滤，保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量，适助力设备升级无忧。全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑...

OF系列在线式专用气体过滤器，专为高流量电子级气体超纯净化设计，过滤精度高达0.003um。其结构紧凑、强度高，与多种半导体工艺气体兼容，尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳，确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容...

KF系列真空系统气体过滤器易于安装于真空系统，特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程有效提升产品产量和设备吞吐量。在规范安装及操作条件下，可确保产品完整性达3,000,000次循环。该过滤器广泛应用于半导体设备接口(如CVD、PVD、E...

在现代工业生产中，大宗气体的高效过滤是确保生产流程顺畅和产品质量的关键环节。特别是在半导体、电子、化工等对气体纯度要求极高的领域，选择一款性能卓越的气体过滤器至关重要。恒歌 BF 系列大宗气体专用过滤器凭借其高通量、低阻力的特性，成为满足大...

选择合适的高压气体过滤器需综合考虑气体性质、流量、过滤精度、压力等多方面因素，以下是具体的选择方法：