工业气体过滤器成功案例：定制化方案解决超纯气体微粒难题！

半导体生产过程对气体的纯净度要求极高，精确控制气体中的微粒含量是纳微米气体过滤器的重要应用领域。同时，半导体制造过程中涉及的工艺气体，部分具有腐蚀性、高纯度等特性，高质量的过滤器有助于精准清除超纯气流中的微粒，保障生产环境的纯净度，从而确保产品质量和生产安全。恒歌在产品设计和半导体相关行业应用方面拥有丰富的经验，能够提供符合行业标准的过滤器解决方案，满足客户在安全性、可靠性和性能方面的需求。

一、客户严苛的使用工况

在半导体制造过程中，超纯气体的使用极为关键，其纯净度直接影响到芯片的质量和性能。客户在半导体芯片的生产环节中，需要使用超纯工艺气体，然而这些气体中存在的微小颗粒杂质，可能会导致芯片制造过程中出现缺陷，影响产品的良品率。客户原有的气体过滤设备，无法满足其对超纯气体中微粒的高精度过滤要求，在气体流量较大时，过滤效果明显下降，无法保障生产环境的纯净度。

在半导体的光刻、刻蚀等关键工艺中，对气体的纯净度要求极高，任何微小的杂质颗粒都可能导致芯片的电路图案出现偏差或损坏。客户使用的工艺气体中，包含一些具有腐蚀性的成分，如含氟气体等，这对过滤器的材质提出了更高的要求。普通材质的过滤器在这种腐蚀性气体的侵蚀下，容易出现损坏，不仅影响过滤效果，还可能导致气体泄漏，带来安全隐患。

客户使用的常规过滤器进行测试，当气体流量达到一定数值，且在含有腐蚀性气体的环境中运行一段时间后，普通材质的过滤器滤芯很快被腐蚀，过滤效率大幅降低，无法有效拦截超纯气体中的微粒，使得生产出来的芯片良品率无法达标。若无法解决过滤器在此环境中的高精度过滤和耐腐蚀问题，客户将面临产品生产效率降低，产品质量无法保证的困境。面对此困境，客户最终找到恒歌寻求解决方案。

二、恒歌的定制化解决方案

为了应对此次挑战，恒歌为此工况定制了 TF 系列工艺气体专用过滤器(直通式过滤器)。这款过滤器专为半导体领域设计，采用整体 316L 不锈钢结构，能够精准清除 UHP(Ultra High Purity，超高纯)超纯气流中的微粒，保障生产的纯净度。同时，考虑到客户使用环境中存在腐蚀性气体，316L 不锈钢具有出色的耐腐蚀性能，能够有效抵抗含氟气体等腐蚀性成分的侵蚀。

1. 高精度微粒过滤性能

TF 系列过滤器采用先进的过滤技术，能够有效拦截超纯气体中的微粒，拦截率高达 99.9999%。其高通量、低阻力的设计，大幅降低了压力损耗，确保气体在高流量下仍能保持稳定的过滤效率，满足半导体生产对气体流量和压力的严格要求。

2. 坚固耐用的结构设计

过滤器整体采用 316L 不锈钢材质，具有耐高温、耐高压、耐腐蚀的特性。其工作温度-28~ +482℃，工作压力207~414bar，能够适应半导体生产中的各种苛刻工况。这种材质不仅能够有效抵抗含氟气体等腐蚀性成分的侵蚀，还能确保设备在长期使用过程中的稳定性和可靠性。

3. 便捷的安装与维护

TF 系列过滤器安装简便，仅需进行气路对接与螺母紧固，无需焊接，避免了焊接过程中可能产生的污染和风险，确保密封无忧。此外，过滤器的维护也非常方便，更换滤芯简单快捷，无需拆卸整个设备，大大减少了维护时间和成本。

4. 严格的质量控制

恒歌对 TF 系列过滤器的生产过程进行了严格的质量控制，每一件产品都经过 100% 完整性测试和 100% 氨气检漏测试，确保产品的性能和质量达到最高标准。这种严格的质量控制措施，为客户提供了可靠的保障，使客户能够放心使用。

三、成功交付与客户反馈

在恒歌的定制化解决方案下，TF 系列工艺气体专用过滤器经过多次严格的测试和验证，完全满足了客户对超纯气体微粒清除的要求。在实际使用过程中，过滤器的性能稳定可靠，有效保障了半导体生产的纯净度，提高了生产效率和产品质量。客户对恒歌的产品和服务给予了高度评价，认为恒歌的专业技术团队和定制化解决方案为他们解决了长期困扰的难题，为半导体生产的顺利进行提供了有力支持。

恒歌凭借其在纳米微米气体过滤器领域的专业技术和丰富经验，成功为半导体客户定制了一款能够精准清除 UHP 超纯气流中微粒的 TF 系列工艺气体专用过滤器。这款过滤器以其卓越的微粒过滤性能、坚固耐用的结构设计、便捷的安装与维护以及严格的质量控制，赢得了客户的信赖和认可。恒歌将继续致力于为客户提供高质量、高性能的气体过滤解决方案，助力半导体产业的发展。如果您也面临着类似的超纯气体微粒污染难题，欢迎与恒歌联系，我们将为您提供专业的定制化解决方案。

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