气体过滤器

恒歌0F系列在线式专用气体过滤器是专为高流量电子级气体超纯净化设计的高效过滤设备。其过滤精度高达0.003μm，能够有效去除气体中的微小颗粒和杂质，确保气体的超高纯度。该系列过滤器采用全焊接316L不锈钢外壳，结构紧凑、强度高，与多种半导体...

恒歌SF系列IGS面板专用过滤器是专为半导体行业集成气体输送与控制系统设计的高性能气体过滤设备。该过滤器采用全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑的体型融合了全焊接与机械密封技术，确保了过滤器的高可靠性和长寿命。其过滤精度高达0.003μm，...

恒歌纳米级高压气体专用过滤器，专为半导体制程中的高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统量身打造。其采用坚固的 316L 不锈钢整体结构，设计压力达 50Mpa，重量相对较轻，实现轻量化与小型化，减少安装空间，通过螺纹连接确保密封性，兼容 C...

直线过滤器采用316L不锈钢材质，线型结构紧凑，用于空间受限的环境下过滤气体或液体中的微固体，以保护下游流体设备。最高工作压力可达207bar；最高工作温度204℃；多种过滤精度：2-5微米，5-10微米，20-40微米。广泛应用于实验室、...

BF系列大宗气体专用过滤器，专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计，采用全316L不锈钢精密打造，多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损，过滤精度高达0.003um，满足超高纯工艺需求。整体金属构造，是高温动态环境下的理想过滤解决...

​恒歌高压气体过滤器主要用于过滤空气、氧气、二氧化碳、氢气、氮气等各类高压气体，能够有效去除气体中的颗粒物、水分、油分等杂质，确保气体的纯净度和质量，为下游工艺提供可靠的气体供应。

BF系列大宗气体专用过滤器，专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计，采用全316L不锈钢精密打造，多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损，过滤精度高达0.003um，满足超高纯工艺需求。整体金属构造，是高温动态环境下的理想过滤解决...

恒歌高纯高压气体专用过滤器是专为半导体制程中的高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统设计的高性能过滤设备，过滤精度高，耐高压耐腐蚀耐高温！

恒歌气体纯化过滤器采用不锈钢316L制成，通过物理吸附相结合的方法在常温下将工艺气体中的H20，O2，CO，CO2，NMHC等杂质去除，并且在316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为3纳米到100微米的颗粒过滤器。

恒歌高压气体专用过滤器、用于半导体制程中高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统。坚固的316L不锈钢结构和50Mpa设计压力以及相对较轻的重量相结合、兼具高强度、耐高温、耐腐蚀、高透气性及长寿命、能高效滤除压缩空气中的尘埃、铁锈、油雾及碳氢...

适用于高压工况下的气体及液体过滤，体积小，安装方便，为高压运行系统提供了相当高的技术和经济优势。产品应用范围广，与大多数高纯度半导体工艺气体具有良好的兼容性；微纳米颗粒过滤能力保持高流量效率，超小压降

恒歌不锈钢高纯气体系统过滤器对于超纯气体可通过多级处理满足工况要求，产品无焊接部位，耐压性能、安全系数极高，适用于高压工况下的气体及液体过滤，体积小，安装方便，为高压运行系统提供了相当高的技术和经济优势。为一些超高压工况研发设计，具有结构简...