恒歌国产MF系列仪器保护专用过滤器(VCR 过滤垫片),低压款专为半导体气体分配系统精心研制。其采用全金属 316L 不锈钢结构,耐高温、耐高压、耐腐蚀性能卓越。该过滤器兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 标准垫圈接口,采用垫片式...
恒歌纳米级高压气体专用过滤器,专为半导体制程中的高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统量身打造。其采用坚固的 316L 不锈钢整体结构,设计压力达 50Mpa,重量相对较轻,实现轻量化与小型化,减少安装空间,通过螺纹连接确保密封性,兼容 C...
恒歌压缩空气精密过滤器是一款专为高压气体(如空气、天然气、氮气、氧气等)设计的高效过滤设备,能够有效去除气体中的水分、油分、灰尘等杂质,确保气体的纯净度和干燥度。
半导体气体过滤器_超高压氮气氢气高纯过滤器大型设备
DF系列扩散器专用过滤器专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。它结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性,能够有效减少工艺腔体排气时的湍流,确保气体的平稳流动。这种过滤器的过滤精度高达0.003μm,能够有效防止气流吹起...
恒歌SF系列IGS面板专用过滤器是专为半导体行业集成气体输送与控制系统设计的高性能气体过滤设备。该过滤器采用全316L不锈钢构造,坚固耐用,紧凑的体型融合了全焊接与机械密封技术,确保了过滤器的高可靠性和长寿命。其过滤精度高达0.003μm,...
恒歌SF系列IGS面板专用过滤器是专为半导体行业集成气体输送与控制系统设计的高性能气体过滤设备。该过滤器采用全316L不锈钢构造,坚固耐用,紧凑的体型融合了全焊接与机械密封技术,确保了过滤器的高可靠性和长寿命。其过滤精度高达0.003μm,...
恒歌0F系列在线式专用气体过滤器是专为高流量电子级气体超纯净化设计的高效过滤设备。其过滤精度高达0.003μm,能够有效去除气体中的微小颗粒和杂质,确保气体的超高纯度。该系列过滤器采用全焊接316L不锈钢外壳,结构紧凑、强度高,与多种半导体...
MF系列仪器保护专用过滤器、全金属材质、专为半导体气体分配系统设计、兼容114”、3/8”及1/2”VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装、是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃环境下、能有效阻隔微粒侵袭...
MF系列仪器保护专用过滤器,全金属材质,专为半导体气体分配系统设计,兼容114”、3/8”及1/2‘‘VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装,是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃环境下,能有效阻隔微粒侵...
W型一体式过滤器.全焊接结构,杜绝泄露过滤面积大,流量系数高,.逆流时,可完成冲洗过程.阀体和过滤元件全渗透焊接.过滤元件公称孔尺寸:0.5、2、7、15、40um.工作压力可达:414bar(6000psig).工作温度:-28~+482...
TF系列工艺气体专用过滤器,专为半导体领域设计,精准清除UHP超纯气流微粒,保障生产纯净度。其安装简便,仅需气路对接与螺母紧固,避免焊接风险,确保密封无忧。采用顶级316L不锈钢全材打造结构紧凑轻盈,大幅降低压力损耗,展现卓越微粒过滤效率,...