TF系列工艺气体专用过滤器,专为半导体领域设计,精准清除UHP超纯气流微粒,保障生产纯净度。其安装简便,仅需气路对接与螺母紧固,避免焊接风险,确保密封无忧。采用顶级316L不锈钢全材打造结构紧凑轻盈,大幅降低压力损耗,展现卓越微粒过滤效率,...
TF系列工艺气体专用过滤器、专为半导体领域设计、精准清除UHP超纯气流微粒、保障生产纯净度。其安装简便、仅需气路对接与螺母紧固、避免焊接风险、确保密封无忧。采用顶级316L不锈钢全材打造、结构紧凑轻盈、大幅降低压力损耗、展现卓越微粒过滤效率...
直线过滤器采用316L不锈钢材质,线型结构紧凑,用于空间受限的环境下过滤气体或液体中的微固体,以保护下游流体设备。最高工作压力可达207bar;最高工作温度204℃;多种过滤精度:2-5微米,5-10微米,20-40微米。广泛应用于实验室、...
RF系列多孔金属限流器RF系列多孔金属限流器,通过与不同规格的气阻配件结合,安装在压缩气体供应管线和气体分配歧管中,以防止由于气体管线破裂、阀门或压力调节器故障,引起的意外高气体流量。在半导体制程气体输送分配系统中,用于保护气体流量稳定可靠...
SF系列IGS面板专用过滤器,用于半导体行业集成气体输送与控制系统,兼容C型和W型多种密封规格,实现0.003um级高效颗粒过滤,保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量,适助力设备升级无忧。全316L不锈钢构造,坚固耐用,紧凑...
OF系列在线式专用气体过滤器,专为高流量电子级气体超纯净化设计,过滤精度高达0.003um。其结构紧凑、强度高,与多种半导体工艺气体兼容,尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳,确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容...
KF系列真空系统气体过滤器易于安装于真空系统,特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程有效提升产品产量和设备吞吐量。在规范安装及操作条件下,可确保产品完整性达3,000,000次循环。该过滤器广泛应用于半导体设备接口(如CVD、PVD、E...
0F系列在线式专用气体过滤器,专为高流量电子级气体超纯净化设计,过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高,与多种半导体工艺气体兼容,尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳,确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容...
BF系列大宗气体专用过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003um,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决...
HF系列高压气体专用过滤器,用于半导体制程中高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统。坚固的316L不锈钢结构和50Mpa设计压力以及相对较轻的重量相结合,兼具高强度、耐高温、耐腐蚀、高透气性及长寿命,能高效滤除压缩空气中的尘埃、铁锈、油雾及...
VCR(Vacuum Coupling Retainer)过滤垫片气体管路密封限流接头是一种用于气体管路连接的部件。它主要起到密封、过滤和限流的作用。
半导体制造:在半导体生产过程中,需要输送大量的高纯气体,如氢气、氮气等。VCR 过滤垫片气体管路密封限流接头可以确保气体的纯度,防止杂质进入生产设备,同时精确控制气体流量,保证芯片制造过程的稳定性和可靠性。