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垫片式高纯气体过滤器
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1/4”金属垫片-不锈钢过滤垫片-用于腐蚀性流体输送

  • 1/4”金属超洁净接头,耐超高压性,不锈钢材质,广泛应用于半导体制造,太阳能,生物医药等领域的特种气体输送。接头具有高纯度的面密封性,使其在真空至正压范围内可以反复拆装(需换垫片)。
  • 产品详情

恒歌仪器保护专用过滤器,全金属材质,专为半导体气体分配系统设计,兼容1/4”、3/8及1/2MSF标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装,是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400°C环境下,能有效阻隔微粒侵袭,守护敏感气体组件,延长设备寿命,预防因微粒污染导致的泄露风险。可选择低压型MSFD或高压型MSFC,也可在现有配管上安装,为精密设备提供经济高效的防污屏障。



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