供应大宗气体系统过滤器_洁净压缩空气纳米双接头过滤器

恒歌在线式大宗气体系统过滤器专为半导体工艺气体净化设计，凭借卓越的过滤性能、可靠的结构设计与严格的质量管控，成为半导体行业去除工艺气体中颗粒的优选设备，为半导体生产过程中的气体洁净度提供优质保障，助力提升半导体产品质量与生产稳定性。

产品特点

1. 洁净环境制造，奠定稳定工艺基础

过滤器全程在洁净室环境下完成制造，从生产到组装的每一个环节都严格控制粉尘、杂质污染，确保产品本身具备洁净、稳定的工艺表现，避免因设备自身污染影响半导体工艺气体纯度，从源头保障下游生产环节的气体洁净需求。

2. 优质材质选用，耐受严苛工况

外壳材质：采用316L 不锈钢打造外壳，具备出色的耐腐蚀性与高强度特性，可承受高压工况，适配半导体行业中多种工艺气体的输送与过滤需求，有效避免外壳因腐蚀或高压损坏导致的气体泄漏问题。

产品性能

1. 超高颗粒截留率，确保气体洁净度

过滤器在30slpm 流量下，对3nm 及以上颗粒的截留率高达 99.9999999% ，能深度去除半导体工艺气体中的微小颗粒，避免颗粒杂质影响芯片制程，为半导体生产提供超高洁净度的工艺气体，保障晶圆生产质量。

2. 优异流体性能，降低系统能耗

高流量与低初始压降：产品具备高流量特性，同时初始压降低，在保障气体输送效率的同时，减少气体输送过程中的能耗消耗，降低半导体生产的能源成本。

稳定压差表现：在 23°C(73°F)工况下，最大正向压差可达 4 bar(60 psig)，最大反向压差为 0.7 bar(10 psig)，能在不同工况下保持稳定的过滤性能，适配半导体生产中多变的工艺需求。

3. 紧凑结构设计，节省安装空间

过滤器整体体积小巧、结构紧凑，能有效节省半导体设备内部宝贵的空间资源，同时方便安装操作，适配半导体厂房设备密集、空间有限的安装环境，降低设备布局与安装难度。

4. 可靠质量管控，消除使用隐患

优化滤芯设计：滤芯的设计及材料选择经过严格优化，可有效消除膜片形变和脱落现象，确保下游气体洁净度可靠，避免因膜片问题导致的过滤失效，保障半导体生产的连续性与稳定性。

严格检测流程：产品出厂前需经过100% 氦气泄漏检测，氦气泄漏率低至 1 x 10⁻⁹ atm cc/sec，同时还会进行高纯气体吹扫，保证产品下游颗粒洁净度，确保过滤器在使用过程中无泄漏、无二次污染风险。

产品应用

1. 多密封类型，适配多样系统

提供VCR 垫片密封和卡套管密封两种类型，能适配大多数半导体系统和生产设备的配置，无需额外定制密封配件，降低设备适配成本与难度，提升过滤器的通用性。

2. 丰富应用领域，覆盖半导体气体需求

广泛应用于半导体行业多种气体相关场景，包括：

高纯压缩气体：去除高纯压缩气体中的颗粒，保障气体纯度;

工艺特种气体：为各类工艺特种气体提供过滤纯化，满足特种工艺需求;

气柜和 VMB(阀门 manifold 箱)：在气柜和 VMB 中实现气体过滤，保障气体输送过程的洁净;

有毒气体：安全过滤有毒气体中的颗粒，同时避免气体泄漏，保障生产安全;

二次配管：在二次配管环节进行气体过滤，进一步提升气体洁净度，确保下游工艺稳定。