不锈钢使用点气体专用过滤器_哈氏合金在线式气体过滤器

在半导体制造过程中，工艺气体的洁净程度是决定产品质量的关键因素之一。哪怕是微小的颗粒杂质，都可能对精密的半导体器件造成不可逆的影响。恒歌的点气体专用过滤器（如 0F 系列在线式专用气体过滤器）以及哈氏合金在线式气体过滤器，凭借出色的性能，成为半导体工艺气体超纯净化的得力助手。

恒歌 0F 系列在线式专用气体过滤器作为点气体专用过滤器中的佼佼者，是专为高流量电子级气体超纯净化打造的。它有着高达 0.003μm 的过滤精度，能精准捕捉气体中的微小颗粒，为工艺气体的洁净度保驾护航。该过滤器结构紧凑且强度高，这一特点让它在安装和使用过程中更加灵活可靠。同时，它与多种半导体工艺气体都能良好兼容，对于大宗气体及惰性气体的过滤更是不在话下。

从材质来看，0F 系列在线式专用气体过滤器采用全焊接 316L 不锈钢外壳，滤芯材质为 316L 不锈钢粉末烧结，壳体和垫片也都是 316L 不锈钢材质。这样的材质选择，确保了它能与多数高纯度半导体工艺气体兼容，避免了材质与气体发生反应而污染气体的情况。而且整体 316L 不锈钢结构，让它能够适应高温环境，在使用过程中稳定可靠。

在性能方面，它不仅有超高的颗粒拦截率，还具备高流量的特点，能满足大流量气体过滤的需求，同时运行稳定，不会给气体传输带来过多阻碍。安装也十分便捷，可选其它点位在线安装。更重要的是，每一个过滤器都经过了 100% 完整性测试和 100% 氨气检漏测试，从生产源头保证了产品的质量，让用户使用起来更加放心。

这款点气体专用过滤器适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒，在半导体、LED、光伏及 MEMS 设备连接中，能提供超高纯度过滤，很好地满足了阀歧管箱、气柜等工艺需求。

如果您需要点气体专用过滤器或者哈氏合金在线式气体过滤器，恒歌都能为您提供合适的产品。若您还想了解产品的其他信息，比如具体适用的更多工艺场景，欢迎告知。