特气柜电子气气体过滤器_特气柜高纯气体过滤器

电子气作为半导体制造的 “血液”，其纯度直接影响芯片的质量与性能。深圳恒歌的特气柜电子气气体过滤器，专为半导体制程中的高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统打造，为电子气的洁净输送提供坚实保障。

产品采用整体 316L 不锈钢结构，这种材质具备卓越的耐腐蚀性和稳定性，能够适应电子气的特殊性质，同时 50Mpa 的设计压力满足了高压输送的需求。相对较轻的重量实现了小型化、轻量化设计，有效减少安装空间，让特气柜内部布局更合理，便于系统集成。

过滤效率是其核心优势。能够精准滤除电子气中可能存在的尘埃、铁锈、油雾及碳氢化合物等杂质，确保电子气纯度达到电子级标准，避免因气体污染导致的芯片缺陷，保障生产设备高效运行。同时，过滤器具备高透气性，在高效过滤的同时不会影响气体的输送效率。

在使用便利性上，产品细节设计周到。螺纹连接确保了整体的密封性，且兼容 C 型和 W 型多种密封规格，适配不同的连接需求。滤芯可更换的设计让维护变得简便快捷，降低了后续运营成本。每台过滤器都经过 100% 完整性测试和 100% 氨气泄露检测，以严苛的品质管控，为电子气的洁净输送保驾护航，助力半导体产业的高质量发展。