不锈钢高纯高压卡套过滤器

在半导体制造、电子特气及高纯气体输送系统中，气体纯度的每一个微小波动，都可能直接影响良率与稳定性。针对高纯、高压、严苛工况应用场景，我们推出—不锈钢高纯高压卡套过滤器，专为半导体工艺气体净化而设计，兼顾超高过滤效率、安全可靠性与便捷安装维护。

一、产品概述

本款不锈钢高纯高压卡套过滤器采用T型卡套结构设计，适用于UHP/HP级工艺气体过滤，可有效去除气体中的亚微米级颗粒污染物，广泛应用于晶圆制造、芯片封装、电子特气输送及高等级洁净室系统，是半导体气体管路中不可或缺的关键过滤组件。

二、核心优势

1️⃣ 全316L不锈钢一体结构

选用高纯316L不锈钢材质

耐腐蚀、低析出、低吸附

兼容多种电子特气与工艺气体

2️⃣ 超高过滤精度，保障UHP气体纯度

过滤精度可达 0.003 μm

颗粒拦截效率 ≥99.9999999%

有效去除气体中微粒、杂质，降低晶圆缺陷风险

3️⃣ 高通量 · 低压损设计

优化内部流道结构

在保证过滤效率的同时，显著降低压降

适合对流量稳定性要求极高的半导体工艺

4️⃣ 耐高温 · 耐高压，适应严苛工况

工作温度范围：-28℃ ～ 482℃

最大工作压力：414 bar（6000 psig）

可长期稳定运行于高压、高温、高洁净要求环境

5️⃣ 卡套式连接，安装更安全

无需焊接，避免焊渣与二次污染风险

卡套对接+螺母紧固，密封可靠

适合洁净室及在线改造安装

6️⃣ 全流程质量检测，使用更安心

100% 完整性测试

100% 氨气检漏测试

确保每一只过滤器在交付前均符合半导体级标准

三、典型应用场景

●  半导体制造工艺气体系统：晶圆制造、扩散、沉积、刻蚀等关键工艺

●  电子特气输送管路：高纯氮气、氢气、氩气等

●  洁净室气体系统：制造、测试、封装及包装环节

●  科研实验室 & 检测机构：对气体纯度要求极高的实验与测试环境

四、安装与维护说明

●  安装方式

●  卡套式连接

●  无需焊接，降低安装风险

●  适合在线快速部署

●  维护与更换

●  过滤元件可更换设计

●  无需整体拆卸管路

●  降低维护成本与停机时间

五、为什么选择我们的不锈钢高纯高压卡套过滤器?

✔ 深耕半导体气体过滤领域多年

✔ 产品设计从“良率、安全、稳定”出发

✔ 支持非标定制(接口、尺寸、过滤精度)

如果您正在寻找一款真正适用于半导体工艺气体系统的高纯高压不锈钢过滤器，欢迎与我们联系，获取选型建议与技术支持。

专业的气体过滤，不只是参数，更是对工艺安全的长期保障。