不锈钢高纯高压卡套过滤器

T型卡套过滤器专为半导体领域设计，具备以下特点和优势：

产品特点

● 整体316L不锈钢结构：坚固耐用，耐腐蚀性强，适用于多种工艺气体。

● 高通量、低阻力：结构紧凑轻盈，大幅降低压力损耗，确保气体流通顺畅。

● 超高颗粒拦截率：精准清除UHP超纯气流微粒，保障生产纯净度，过滤精度高达0.003μm，颗粒拦截效率达99.9999999%。

● 耐高温、耐高压：工作温度范围为-28℃至482℃，工作压力可达414bar(6000psig)，适用于洁净室环境内的制造、测试和包装。

● 安装简便：仅需气路对接与螺母紧固，避免焊接风险，确保密封无忧。

● 100%完整性测试与氨气检漏测试：确保过滤器的可靠性和安全性。

应用场景

● 半导体制造：用于高纯气体输送系统，确保气体的超高纯度，保障半导体生产的纯净度。

● 洁净室环境：适用于洁净室内的制造、测试和包装过程，防止微粒污染。

● 实验室及科研：为高校实验室、科研检测单位提供高纯气体过滤，确保实验精度。

安装和维护

● 安装简便：仅需进行气路对接与螺母紧固，无需焊接，避免焊接风险，确保密封性。

● 维护便捷：过滤元件易于更换，不需拆卸管路即可清洗和更换滤芯。

T型卡套过滤器凭借其卓越的性能和便捷的安装维护特点，成为半导体领域工艺气体净化的理想选择。