高纯大流量过滤器_大宗气体过滤器3纳米5纳米

在半导体制造的超高纯工艺中，气体纯度直接决定芯片良率。深圳恒歌推出的 BF 系列大宗气体专用过滤器，正是为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤量身定制的核心设备。

作为大宗气体过滤器的标杆产品，其采用全 316L 不锈钢精密打造，从材质源头确保无杂质释放，完美适配严苛的半导体洁净环境。多柱状或叠盘状介质设计是其关键优势，既能实现高流通量，满足大产能生产线的气体供应需求，又能保持低阻损，避免因过滤环节影响工艺稳定性。针对不同客户的生产线布局与工艺参数，有特殊需求可定制加工，进一步提升设备与生产环境的适配性。

产品特点：

● 整体 316L 不锈钢结构，杜绝二次污染

● 高通量、低阻力，适配大产能生产需求

● 过滤精度达 0.003μm，超高颗粒拦截率

● 耐高温高压，应对复杂工艺环境

● 100% 完整性与氨气检漏测试

● 支持定制加工，满足特殊需求