在半导体制造领域,气体的纯度直接影响着产品的质量和性能。深圳恒歌推出的BF系列大宗气体专用过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,是高纯大流量过滤器的典范。该过滤器采用全316L不锈钢精密打造,不仅坚固耐用,还具备卓越的耐腐蚀性能,能够适应半导体制造过程中复杂的化学环境。
产品特点
● 超高纯度保障:过滤精度高达0.003μm,能够有效拦截气体中的微小颗粒,确保气体的超高纯度,满足半导体制造对气体纯度的严格要求。
● 高通量低阻力:多柱状或叠盘状介质设计,确保在高流通量下保持低阻损,保障气体的顺畅输送,提高生产效率。
● 耐高温高压:整体金属构造,耐高温、耐高压,适用于高温动态环境,是半导体洁净室制造、测试和包装的理想选择。
● 广泛适用性:适用于多种工艺气体,无论是氮气、氩气还是其他特种气体,都能有效过滤,确保气体的纯净度。
● 严格质量检测:100%完整性测试和100%氨气检漏测试,确保每一台过滤器都符合最高质量标准。
深圳恒歌的BF系列高纯大流量过滤器,凭借其卓越的性能和可靠的品质,为半导体制造提供了坚实的保障,助力客户实现高效、稳定的生产。