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大宗气体过滤器
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半导体级高纯气体过滤器_高纯电子气特气精密过滤器

  • 在半导体制造过程中,气体的纯度是影响产品质量的关键因素之一。深圳恒歌的BF系列大宗气体专用过滤器,专为超高纯工艺气体在线过滤而设计,能够有效去除气体中的杂质,确保气体的超高纯度。
  • 产品详情

在半导体制造过程中,气体的纯度是影响产品质量的关键因素之一。深圳恒歌的BF系列大宗气体专用过滤器,专为超高纯工艺气体在线过滤而设计,能够有效去除气体中的杂质,确保气体的超高纯度。

产品特点

● 超高精度过滤:过滤精度高达0.003μm,能够拦截气体中的微小颗粒,确保气体的纯净度,满足半导体制造对气体纯度的严格要求。

● 高效通量设计:采用多柱状或叠盘状介质设计,确保在高流通量下保持低阻损,保障气体的顺畅输送,提高生产效率。

● 耐高温高压:整体316L不锈钢结构,耐高温、耐高压,适用于高温动态环境,是半导体洁净室制造、测试和包装的理想选择。

● 广泛适用性:适用于多种工艺气体,无论是氮气、氩气还是其他特种气体,都能有效过滤,确保气体的纯净度。

● 严格质量检测:100%完整性测试和100%氨气检漏测试,确保每一台过滤器都符合最高质量标准。

深圳恒歌的BF系列大宗气体过滤器,凭借其卓越的性能和可靠的品质,为半导体制造提供了纯净的气体供应,助力客户实现高效、稳定的生产。

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