深圳恒歌的真空卡环过滤器,是真空系统中不可或缺的部件。它不仅能够有效减少工艺腔体排气时的湍流,还能在短时间内传递大量气体流,确保真空系统的高效运行。特别适用于半导体设备接口及各类真空室的通风,无论是CVD、PVD、Etch还是Epi工艺,都能完美适配。在规范安装及操作条件下,可确保产品完整性达3.000.000次循环。
产品特点:
● 减少工艺腔体排气时的湍流:独特的结构设计,有效降低排气过程中的气体扰动,确保真空环境的稳定。
● 适用于多种工艺气体:广泛的气体兼容性,无论是腐蚀性气体还是惰性气体,都能高效过滤,保障工艺的顺利进行。
● 洁净室环境内制造、测试、包装:从生产到包装,全程在洁净室环境下完成,确保产品本身的高洁净度。
● 100% 完整性测试通过:每一件产品都经过严格测试,保证在使用过程中的可靠性和稳定性。
● 高效过滤性能:采用先进的过滤技术,确保气体的高纯度,提升产品质量。
● 长寿命设计:高品质材料和精密制造工艺,确保产品的长寿命和高可靠性。