







在半导体、制药、高纯化工气体系统中,任何一丝微粒或气体泄漏都可能导致生产停滞或产品报废。恒歌科技研发的 316L 金属烧结 VCR 过滤垫片,专为高纯气体输送系统打造,兼容 1/4″、3/8″ 及 1/2″ VCR 卡套接口,具备耐高温(-40 ~ 400 °C)、耐高压、耐腐蚀特性,过滤效率 99.9999999%,为您的系统保驾护航。
一、为什么气体系统中要用 VCR 过滤垫片?
在半导体、显示面板、光伏等高纯气体系统中,即使前端已经配置了气体过滤器,
管路连接点本身,仍然是最容易产生颗粒和金属污染的“盲区”。
● 接头装配摩擦
● 管路内壁微颗粒脱落
● 阀门、MFC 切换瞬间冲刷
— VCR过滤垫片,正是安装在“最后一道连接点”的微型过滤单元,在不改变原有结构的前提下,实现颗粒拦截与系统洁净度提升。
二、VCR过滤垫片 ≠ 普通VCR密封垫片
很多客户在选型时,容易把两者混为一谈:
| 对比项 | 普通VCR金属垫片 | VCR过滤垫片 |
| 主要功能 | 密封 | 密封 + 过滤 |
| 是否过滤颗粒 | ❌ 否 | ✅ 是 |
| 内部结构 | 实心金属 | 内置微孔过滤结构 |
| 适用场景 | 一般高纯气体 | 半导体电子特气、关键点位 |
— VCR过滤垫片更适合安装在:POU、MFC前端、关键工艺气体入口
三、产品核心特点
✅ 高纯不锈钢材质
● 采用 316L 不锈钢
● 适用于多种电子特气
● 抗腐蚀、低金属析出风险
✅ 微孔过滤结构设计
● 内部为均匀微孔结构
● 可有效拦截微小颗粒污染物
● 在不显著影响流量的前提下提升气体洁净度
✅ 标准 VCR 尺寸,直接替换
● 兼容标准 VCR 接头
● 无需改造原有管路
● 安装方式与普通 VCR 垫片一致
✅ 多规格可选
● 1/4" VCR 过滤垫片
● 3/8" VCR 过滤垫片
● 1/2" VCR 过滤垫片
满足不同管径气体系统需求。
四、典型应用场景
VCR 过滤垫片广泛应用于:
● 半导体电子特气输送系统
● 工艺气体点位(POU)
● MFC、阀门前端保护
● 高纯气体面板系统
● 实验室及超洁净气体管路
尤其适用于对颗粒极为敏感的关键工艺节点。
五、常见问题
Q1:VCR过滤垫片会影响气体流量吗?
A:合理设计的微孔结构在保证过滤能力的同时,对系统流量影响极小,适合安装在终端或关键点位。
Q2:是否适用于腐蚀性或易燃气体?
A:不锈钢材质具备良好的耐腐蚀性,适用于多种电子特气,具体工况可咨询确认。
Q3:可以定制其他规格或参数吗?
A:支持不同尺寸、结构形式的定制需求,可根据应用场景评估。
六、一片垫片,往往决定系统“最后的洁净度”
在超纯气体系统中,
真正影响良率的,往往不是“大设备”,
而是这些看似不起眼的连接细节。
VCR过滤垫片,正是为关键连接点提供的“最后一道安全屏障”。