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垫片式VCR高纯气体过滤器
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国产VCR过滤垫片|不锈钢多规格 1/4"、3/8"、1/2"

  • 恒歌国产VCR过滤垫片是一种专为高纯气体输送系统设计的高性能密封元件,广泛应用于半导体、制药、化工等对气体纯度要求极高的领域。它通常由316L不锈钢等优质金属材料制成,具有耐高温、耐腐蚀、耐高压的特性,能够在高达400C的环境下稳定工作。
  • 产品详情

在半导体、制药、高纯化工气体系统中,任何一丝微粒或气体泄漏都可能导致生产停滞或产品报废。恒歌科技研发的 316L 金属烧结 VCR 过滤垫片,专为高纯气体输送系统打造,兼容 1/4″、3/8″ 及 1/2″ VCR 卡套接口,具备耐高温(-40 ~ 400 °C)、耐高压、耐腐蚀特性,过滤效率 99.9999999%,为您的系统保驾护航。

一、为什么气体系统中要用 VCR 过滤垫片?

在半导体、显示面板、光伏等高纯气体系统中,即使前端已经配置了气体过滤器,

管路连接点本身,仍然是最容易产生颗粒和金属污染的“盲区”。

●  接头装配摩擦

●  管路内壁微颗粒脱落

●  阀门、MFC 切换瞬间冲刷

— VCR过滤垫片,正是安装在“最后一道连接点”的微型过滤单元,在不改变原有结构的前提下,实现颗粒拦截与系统洁净度提升。

二、VCR过滤垫片 ≠ 普通VCR密封垫片

很多客户在选型时,容易把两者混为一谈:

对比项普通VCR金属垫片VCR过滤垫片
主要功能密封密封 + 过滤
是否过滤颗粒❌ 否✅ 是
内部结构实心金属内置微孔过滤结构
适用场景一般高纯气体半导体电子特气、关键点位

—  VCR过滤垫片更适合安装在:POU、MFC前端、关键工艺气体入口

三、产品核心特点

✅ 高纯不锈钢材质

●  采用 316L 不锈钢

●  适用于多种电子特气

●  抗腐蚀、低金属析出风险

✅ 微孔过滤结构设计

●  内部为均匀微孔结构

●  可有效拦截微小颗粒污染物

●  在不显著影响流量的前提下提升气体洁净度

✅ 标准 VCR 尺寸,直接替换

●  兼容标准 VCR 接头

●  无需改造原有管路

●  安装方式与普通 VCR 垫片一致

✅ 多规格可选

●  1/4" VCR 过滤垫片

●  3/8" VCR 过滤垫片

●  1/2" VCR 过滤垫片

满足不同管径气体系统需求。

四、典型应用场景

VCR 过滤垫片广泛应用于:

●  半导体电子特气输送系统

●  工艺气体点位(POU)

●  MFC、阀门前端保护

●  高纯气体面板系统

●  实验室及超洁净气体管路

尤其适用于对颗粒极为敏感的关键工艺节点。

五、常见问题

Q1:VCR过滤垫片会影响气体流量吗?

A:合理设计的微孔结构在保证过滤能力的同时,对系统流量影响极小,适合安装在终端或关键点位。

Q2:是否适用于腐蚀性或易燃气体?

A:不锈钢材质具备良好的耐腐蚀性,适用于多种电子特气,具体工况可咨询确认。

Q3:可以定制其他规格或参数吗?

A:支持不同尺寸、结构形式的定制需求,可根据应用场景评估。

六、一片垫片,往往决定系统“最后的洁净度”

在超纯气体系统中,

真正影响良率的,往往不是“大设备”,

而是这些看似不起眼的连接细节。

VCR过滤垫片,正是为关键连接点提供的“最后一道安全屏障”。


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