全焊接直通型过滤器_W型一体式过滤器

半导体洁净室对气路系统的密封性要求极高，任何微小的泄漏都可能导致洁净度下降，影响产品质量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型过滤器(W 型一体式过滤器)，以全焊接结构设计为核心，实现了 “零泄漏” 的密封效果，为半导体洁净室提供可靠的工艺气体净化保障。

全焊接结构是该过滤器的核心设计亮点。阀体与过滤元件采用全渗透焊接工艺，彻底消除了传统连接方式可能存在的密封间隙，从根本上杜绝气体泄漏风险，满足半导体洁净室对气路密封性的严苛要求。同时，全焊接结构还增强了设备的整体强度，使其能承受更高的工作压力(可达 414bar/6000psig)与更宽的温度范围(-28~+482℃)，适配各类高要求工艺场景。

材质方面，全焊接直通型过滤器采用整体 316L 不锈钢打造，具备出色的耐腐蚀性能，可兼容半导体制造中常用的硅烷、氨气、氯化氢等腐蚀性工艺气体，避免材质腐蚀导致的净化失效或杂质析出问题。其超高颗粒拦截率能精准清除 UHP 超纯气流中的微粒杂质，过滤元件公称孔尺寸涵盖 0.5、2、7、15、40μm 等多种规格，可根据不同工艺需求灵活选择(注：W 型一体式仅提供滤网式滤芯)。

在使用便利性上，该过滤器具备独特的逆流冲洗功能。当气体逆流时，可直接完成过滤元件的冲洗过程，无需拆卸设备即可实现清洁维护，大幅减少停机时间，提升生产效率。同时，其高通量、低阻力的设计特点，可在高效过滤的同时保障气路流量稳定，降低压力损耗。

所有全焊接直通型过滤器均经过 100% 完整性测试与 100% 氨气检漏测试，出厂品质符合半导体行业标准。无论是半导体芯片制造的核心工艺，还是精密电子元件生产的洁净环境，该过滤器都能以零泄漏的密封性能与高效的净化效果，成为工艺气体净化的可靠屏障。