TF 系列工艺气体专用过滤器_高纯高压气体过滤器

半导体制造涵盖蚀刻、沉积、离子注入等多个工艺环节，不同环节对工艺气体的压力、温度与纯度要求各异，单一规格的过滤器难以满足全场景需求。深圳恒歌 TF 系列工艺气体专用过滤器，通过 F 型、T 型、W 型三大类型的细分设计，实现了对半导体多工艺场景的全面适配，成为行业通用的净化核心设备。

TF 系列工艺气体专用过滤器全系采用整体 316L 不锈钢结构，具备统一的高品质基因：耐高温(-28~+482℃)、耐高压(最高可达 414bar/6000psig)、耐腐蚀，可兼容半导体行业常用的各类工艺气体，避免材质与气体发生化学反应，确保长期稳定运行。同时，全系产品均具备超高颗粒拦截率，能精准清除 UHP 超纯气流中的微粒杂质，保障工艺气体纯净度，从源头规避污染风险。

针对不同场景需求，系列产品各有侧重：F 型直通式过滤器以紧凑结构设计，适配空间受限的洁净室气路;T 型气体过滤器凭借联合阀帽设计与超高耐压性能，成为高压力工艺场景的安全之选;W 型一体式过滤器(全焊接结构)则以零泄漏优势，满足洁净室严苛的密封要求。此外，系列产品均支持高通量、低阻力运行，减少压力损耗，保障气路流量稳定，同时安装简便，无需焊接，降低维护成本。

在品质把控上，TF 系列工艺气体专用过滤器全系经过 100% 完整性测试与 100% 氨气检漏测试，每一台设备都符合半导体行业的严苛标准。根据工艺需求，用户可灵活选择过滤元件规格(如 0.5~40μm)，部分型号还支持旁通道选配、逆流冲洗等功能，进一步提升使用便利性(注：F 型规格 2 无滤网式滤芯，W 型仅提供滤网式滤芯)。

无论是半导体芯片制造的核心工艺，还是 LED、光伏等精密电子行业的气体处理，TF 系列工艺气体专用过滤器都能以多场景适配能力与可靠的净化性能，为企业提供定制化的工艺气体净化解决方案。