半导体气体装置专用过滤器丨电子特气管道系统过滤器

半导体气体装置是半导体制造的核心设备集群，包括气体存储钢瓶、减压阀、气体分配柜（GDC）、流量控制器（MFC）等，负责半导体制程中气体的存储、分配、精准输送，其气体净化水平直接决定芯片良率，需满足 ppb 级甚至 ppt 级的纯度要求。

1、为何需要使用过滤器？

半导体制程对污染物极度敏感，气体中的微粒、金属离子、水分等杂质会造成光刻缺陷、电路短路、器件失效，尤其是 7nm 以下先进制程，对气体纯度要求更为严苛；过滤器需在气体进入制程设备前进行深度净化，是保障半导体气体装置稳定运行的关键部件。

2、过滤器介绍

恒歌 TF 系列半导体气体装置专用过滤器，专为半导体领域量身打造，聚焦超纯气体净化需求。采用 UHP 超纯过滤技术，316L 不锈钢无死角结构，避免污染物残留，安装简便且密封性能优异，可直接安装于气体装置的减压阀后、MFC 前端，精准清除 ppb 级杂质，保障芯片制程纯净度。

3、 过滤器特点

▶ 316L 不锈钢全结构，无死体积设计，避免二次污染

▶ 超高颗粒拦截率，0.003μm 微粒拦截效率≥99.9999%，达到 ppb 级净化水平

▶ 耐高温（≤200℃）、耐高压（≤15MPa），适配半导体气体装置工况

▶ 低压力损耗（≤0.03MPa），不影响流量控制器精准控制

▶ 100% 完整性测试 + 氨气检漏，满足半导体洁净室 Class 1 环境要求

▶ 提供 F 直通型 / T 型 / W 型一体式结构，适配气体装置不同安装位置

4、产品应用

半导体前道光刻 / 蚀刻 / 沉积工艺气体装置、半导体后道封装测试气体装置、气体分配柜（GDC）净化过滤、流量控制器（MFC）前端过滤、半导体气体钢瓶出口净化

5、常见问答

Q：该过滤器能达到 ppt 级净化要求吗？

A：支持！高端型号可实现 ppt 级杂质拦截，完全满足 7nm 以下先进制程的气体纯度需求。

Q：能否适配半导体气体装置的高压力场景？

A：完全适配！最高耐高压可达 15MPa，覆盖绝大多数半导体气体装置的工作压力范围。

Q：滤芯是否可重复使用？

A：过滤器本体可重复使用，滤芯为消耗品，建议根据压差变化或使用周期定期更换。

Q：与普通过滤器相比，核心优势是什么？

A：专为半导体场景设计，无二次污染风险、净化精度更高（ppb 级）、密封性能更优（符合半导体安全标准），且通过 SEMI 认证，适配洁净室环境。

6. 选型指引

如果您不确定适配的半导体气体装置类型、过滤精度或安装接口，欢迎联系我们，结合您的制程需求提供定制化选型方案！