氢气特气柜专用过滤器丨316L 不锈钢高压气体过滤器

1. 设备介绍

氢气特气柜是半导体、新能源行业中储存和输送高压氢气的关键设备，具备压力调节、泄漏检测、安全防爆等功能，广泛应用于晶圆退火、燃料电池生产、化工合成等场景，氢气的易燃易爆特性对设备安全性和气体纯度要求极高。

2. 为何需要使用过滤器

氢气在压缩储存过程中，易混入气瓶内壁的铁锈、油脂、水分及压缩机润滑油雾，这些杂质不仅会导致特气柜内阀门、压力表等部件磨损卡滞，还可能因油脂与氢气混合引发安全隐患，同时杂质会影响下游制程的产品质量。

3. 过滤器介绍

恒歌 HF 系列氢气特气柜专用过滤器，专为高压氢气输送场景设计，采用防爆型 316L 不锈钢结构，严格遵循氢气安全标准，设计压力 50Mpa，可高效滤除氢气中的油雾、水分、金属颗粒及碳氢化合物，保障特气柜系统安全稳定运行。

4. 产品特点

316L 不锈钢防爆结构，适配氢气易燃易爆特性，使用更安全

耐高压 50Mpa、耐低温 - 40℃，适配氢气储存和输送的极端工况

专用滤芯可高效去除油雾(过滤精度 0.01μm)和水分，避免氢脆现象

轻量化小型化，完美适配特气柜内部紧凑安装空间

100% 氨气泄露检测通过，密封性能符合高压氢气输送要求

安装检修便捷，滤芯更换无需拆卸管道，降低停机时间

5. 产品应用

适用于半导体行业氢气特气柜、新能源燃料电池氢气储存柜、化工行业高压氢气输送柜、实验室氢气纯化系统。

6. 常见问答

Q1：过滤器是否具备防氢脆功能?

A1：主体采用耐氢脆 316L 不锈钢材质，滤芯及密封件均选用氢兼容材料，完全避免氢脆导致的结构失效。

Q2：最大工作压力能否满足 30Mpa 氢气系统?

A2：设计压力 50Mpa，可稳定适配 0-30Mpa 高压氢气系统，预留充足安全余量。

Q3：滤芯更换周期是多久?

A3：根据氢气纯度和使用频率，常规更换周期为 8-12 个月，建议配合特气柜定期维护同步更换。

7. 选型引导

氢气特气柜的工作压力、流量、氢气纯度要求直接影响过滤器选型，如需安全适配的定制方案，可联系恒歌技术团队提供专业支持!