垫片式烧结过滤片丨半导体多孔烧结金属滤芯

在半导体制造、高纯气体输送以及精密仪器设备中，微小颗粒污染往往是导致阀门失效、流量控制异常和产品良率下降的重要原因。恒歌MF系列垫片式烧结过滤片采用316L不锈钢多孔烧结结构制造，可直接集成于VCR面密封连接系统，在不改变原有管路结构的情况下实现高效颗粒拦截，为气体分配系统提供稳定可靠的洁净保护。

与传统滤芯相比，垫片式设计体积更小、安装更方便，可直接替代标准面密封垫片使用，特别适用于质量流量控制器(MFC)、减压阀、隔膜阀以及分析仪器等对洁净度要求较高的关键部位。其均匀的孔隙结构能够有效捕集纳米级颗粒，降低污染物进入设备内部的风险，从而延长核心部件使用寿命，减少维护成本和停机损失。

产品参数

●  产品名称：垫片式烧结过滤片

●  产品型号：MF系列

●  材质：316L不锈钢

●  过滤精度：3nm～60μm(可定制)

●  表面粗糙度：≤0.2μm

●  工作温度：最高可达400℃

●  接口规格：1/8"、1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"

●  密封形式：VCR面密封结构

●  定制服务：支持尺寸、孔径及特殊结构定制

产品特点

纳米级过滤精度能够有效去除气体中的颗粒污染物，满足高纯气体输送系统的洁净要求;316L不锈钢材质具有优异的耐腐蚀性能和机械强度，可长期适应高温、高压及腐蚀性气体环境;产品采用面密封结构设计，无需焊接和复杂改造即可快速安装;同时支持多种规格和过滤等级定制，可根据客户设备结构进行个性化设计。

产品应用

广泛应用于半导体晶圆制造、电子特气输送系统、化学气相沉积(CVD)、刻蚀设备、光伏及显示面板制造等领域，用于保护MFC、精密阀门、压力调节器等关键部件。与此同时，在生物制药、高纯实验室气体系统、航空航天及高端装备制造领域，也可作为关键气体过滤组件使用，确保工艺过程稳定运行。

为什么选择恒歌

恒歌深耕金属多孔烧结过滤领域多年，拥有成熟的粉末烧结工艺和严格的质量控制体系。产品从原材料选择、孔径控制到成品检测均进行严格管理，确保过滤性能稳定可靠。针对半导体、高纯气体及特殊工况应用，恒歌可提供从样品测试、结构优化到批量生产的一站式定制服务，帮助客户降低设备故障风险，提高系统运行可靠性，为高端制造提供长期稳定的过滤解决方案。