3纳米高纯气体面密封垫片丨粉末烧结过滤片

恒歌的MF系列高纯气体面密封垫片，采用坚固的全316L不锈钢金属质，适配于半导体气体分配系统中(1/8"、1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1")各类面密封标准垫圈，并支持定制为MFC模块、精密阀门等敏感组件，提供高达≤400°C环境下的微粒污染防护，有效延长设备寿命并避免密封阀损坏造成泄露，恒歌垫片式过滤片是您仪器专业可靠的防护屏障。

产品特点：

✅  纳米级过滤精度

0.3纳米~60um可定制

✅  实现表面密封

光洁度达≤0.2μm

✅  耐腐蚀长寿命材料

316L不锈钢材质

耐400°C高温

高压款或低压款可选

✅  工厂定制

兼容1/8"、1/4"、3/8"、1/2"、3/4"和1"面密封标准垫片接口

过滤精度(3nm – 60 µm)和尺寸均可定制!

多孔不锈钢VCR垫片过滤器的应用

1、半导体制造：

*用于气体分配系统中过滤颗粒，保护如质量流量控制器(MFCs)、阀门和调节器等敏感组件。

*确保在化学气相沉积(CVD)和刻蚀等过程中提供清洁的气体供应，防止颗粒污染可能导致的产品缺陷。

2. 医药和生物技术产业:

*理想用于高纯气体输送系统，以进行气体灭菌或药物制造中的气体混合等关键过程。

*通过过滤掉可能影响产品质量的污染物，确保生产中使用的气体的完整性。

3. 航空航天和高科技制造：

*应用于制造先进材料、涂层和航空领域零部件的精密气体流量控制系统。

*能够承受极端温度和压力，在苛刻环境中提供持久的颗粒过滤。

应用的关键优势：

*耐高温和耐高压 使过滤器在极端条件下能够可靠地工作。

*耐腐蚀性 316L不锈钢确保即使在化学侵蚀环境中也能有很长的使用寿命。

*方便安装 无需额外切割或焊接，便于改装到现有系统中。