恒歌0F系列在线式专用气体过滤器是专为高流量电子级气体超纯净化设计的高效过滤设备。其过滤精度高达0.003μm，能够有效去除气体中的微小颗粒和杂质，确保气体的超高纯度。该系列过滤器采用全焊接316L不锈钢外壳，结构紧凑、强度高，与多种半导体...

恒歌SF系列IGS面板专用过滤器是专为半导体行业集成气体输送与控制系统设计的高性能气体过滤设备。该过滤器采用全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑的体型融合了全焊接与机械密封技术，确保了过滤器的高可靠性和长寿命。其过滤精度高达0.003μm，...

恒歌纳米级高压气体专用过滤器，专为半导体制程中的高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统量身打造。其采用坚固的 316L 不锈钢整体结构，设计压力达 50Mpa，重量相对较轻，实现轻量化与小型化，减少安装空间，通过螺纹连接确保密封性，兼容 C...

直线过滤器采用316L不锈钢材质，线型结构紧凑，用于空间受限的环境下过滤气体或液体中的微固体，以保护下游流体设备。最高工作压力可达207bar；最高工作温度204℃；多种过滤精度：2-5微米，5-10微米，20-40微米。广泛应用于实验室、...

BF系列大宗气体专用过滤器，专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计，采用全316L不锈钢精密打造，多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损，过滤精度高达0.003um，满足超高纯工艺需求。整体金属构造，是高温动态环境下的理想过滤解决...

​恒歌高压气体过滤器主要用于过滤空气、氧气、二氧化碳、氢气、氮气等各类高压气体，能够有效去除气体中的颗粒物、水分、油分等杂质，确保气体的纯净度和质量，为下游工艺提供可靠的气体供应。

半导体洁净室对气路系统的密封性要求极高，任何微小的泄漏都可能导致洁净度下降，影响产品质量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型过滤器(W 型一体式过滤器)，以全焊接结构设计为核心，实现了 “零泄漏” 的密封效果，为半导体洁净室提供可靠的工艺...

这款半导体制造超纯气体扩散器，巧妙地结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性。其过滤精度可达 0.003um，能够精准地拦截气体中的微小颗粒，为半导体制造提供超纯的气体环境。无论是光刻、刻蚀还是沉积等工艺，都离不开这样高纯度的气...

恒歌MF系列仪器保护专用过滤器，全金属材质，专为半导体气体分配系统设计，兼容1/4”、3/8’及1/2‘VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装，是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。

恒歌RF 系列多孔金属限流器通过与不同规格的气阻配件灵活组合，可便捷安装于压缩气体供应管线和气体分配歧管中。在半导体制程气体输送分配系统等对气体流量稳定性要求极高的场景下，它能有效防止意外高气体流量，保护系统稳定可靠运行，减少气体流动负担，...

不锈钢气源处理器三联件由空气过滤器、减压阀和油雾器三大元件组成。该产品采用不锈钢材质，具有耐腐蚀、结构精巧、工艺精良等特点。空气过滤器用于净化气源，过滤压缩空气中的水分和杂质；减压阀则对气源进行稳压，确保气压恒定，保护气动系统中的阀门和执行...

DF系列扩散器专用过滤器，专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。独特的全316L不锈钢结构，不仅确保高效过滤，更巧妙的规避了湍流产生，...