半导体真空腔体快速放气器丨0.003μm气体扩散器过滤器

深圳恒歌DF系列真空腔体快速放气器，是针对半导体制造中真空腔体高效破真空需求研发的专用装备。这款产品打破了“快速排气与环境洁净不可兼得”的行业瓶颈，通过不锈钢粉末烧结介质的高效流通特性与0.003μm精密过滤能力，在实现毫秒级快速放气的同时，杜绝气流扰动与颗粒污染，为晶圆制程的连续性与稳定性提供核心支撑。

产品特点

● 极速排气设计：优化的流道与烧结介质结构，实现真空腔体快速放气，提升生产效率。

● 湍流抑制技术：全 316L 不锈钢一体成型结构，引导气流平稳流动，避免颗粒扬起。

● 纳米级净化过滤：过滤精度达 0.003μm，有效拦截气体中微量颗粒，保护工艺环境。

● 全工况耐受性能：耐高温、耐高压且耐腐蚀，适配各类严苛工艺条件。

● 100% 质量认证：通过完整性测试与氦气泄漏检测，确保每台设备性能可靠。

应用场景

广泛应用于半导体晶圆制造的各类真空工艺设备：在晶圆清洗机的真空干燥腔中，实现快速排气的同时防止水汽携带颗粒污染;在薄膜蚀刻设备中，保障腔室破真空时的气流稳定，避免蚀刻图案变形;在晶圆传输腔中，配合自动化系统实现高效换片。特别适配 300mm 晶圆生产线的高节拍生产需求，同时可用于 LED 制造的 MOCVD 设备及半导体封装测试的真空腔体系统。