扩散器专用金属过滤器_纳米级气体过滤器生产厂家

恒歌扩散器专用不锈钢过滤器是专为半导体制程中真空腔体快速放气应用精心设计的高性能过滤设备。它巧妙地融合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，实现了在快速排气的同时，对微小颗粒的高效过滤，过滤精度高达0.003um，为半导体制造过程中的气体净化提供了可靠的保障。

产品优势

1、高效过滤与气流优化

高精度过滤：采用先进的不锈钢粉末烧结介质，能够有效拦截0.003um级别的微小颗粒，确保气体的高纯度，有效防止微粒混入，从而帮助提高产品的合格率，满足半导体制造对气体纯度的严格要求。

优化气流设计：独特的全316L不锈钢结构，不仅确保了过滤器的高效过滤性能，还巧妙地规避了湍流的产生，减少了气流对工艺室环境的影响，有效防止气流吹起颗粒或吹起硅片，保障了工艺过程的稳定性和产品质量。

2、优质结构与广泛适用性

坚固耐用的结构：整体采用316L不锈钢材质，具备卓越的耐高温、耐高压和耐腐蚀性能，能够适应各种严苛的工艺环境，确保过滤器在长期使用过程中的稳定性和可靠性。

广泛适用性：适用于多种工艺气体，无论是常见的惰性气体还是具有特殊性质的反应气体，都能实现高效的过滤和稳定的气流控制，为不同的半导体制造工艺提供定制化的解决方案。

洁净制造与严格检测：在洁净室环境中进行制造、测试和包装，确保过滤器在出厂前就达到高洁净度标准。同时，经过100%完整性测试和100%氨气泄露检测，保证了每一个过滤器都具备卓越的密封性能和过滤效果，让用户在使用过程中无后顾之忧。

3、灵活定制与便捷安装

可定制化设计：DF系列扩散器专用过滤器可根据不同的安装空间和工艺需求进行灵活定制，无论是紧凑的空间还是特殊的安装位置，都能提供合适的解决方案，满足用户的个性化需求。

快速排气：得益于其独特的结构设计和高效的过滤介质，过滤器能够实现快速排气，显著缩短了真空腔体的放气时间，提高了生产效率，为半导体制造过程中的快速工艺转换提供了有力支持。

DF系列扩散器专用过滤器以其卓越的过滤性能、优化的气流设计、坚固耐用的结构以及灵活的定制化能力，为半导体制程中的真空腔体快速放气应用提供了理想的解决方案，是确保气体纯度、提高产品合格率、保障工艺稳定性的重要设备。