供应半导体大宗气体终端晶圆制程工艺气体全金属气体过滤器

在半导体制造中，大宗气体作为关键生产原料，其纯度直接关系到晶圆制程的稳定性与产品合格率。深圳恒歌专注半导体领域需求，推出供应半导体大宗气体终端晶圆制程工艺气体全金属气体过滤器，专为半导体制程中真空腔体快速放气应用设计，以全金属结构的可靠性与高效过滤性能，成为大宗气体终端处理的核心设备。

这款全金属气体过滤器采用不锈钢粉末烧结介质，不仅实现了快速排气功能，满足真空腔体快速放气的生产节奏，更具备高达 0.003um 的过滤精度。在半导体大宗气体传输与终端使用环节，即使微量的颗粒杂质也可能附着在晶圆表面，导致电路缺陷或工艺失败。而该过滤器能精准拦截气体中的微小颗粒，有效防止微粒混入工艺腔体，从源头保障大宗气体的超纯品质，直接助力企业提高产品合格率。

产品采用整体 316L 不锈钢打造的全金属结构，区别于传统非金属过滤器，具备更优异的耐高温、耐高压、耐腐蚀性能，能轻松应对半导体制造中各类工艺气体(如惰性气体、反应性气体等)的严苛工况，长期使用不易变形或损坏，大幅延长设备使用寿命。同时，独特的结构设计还能有效减少工艺腔体排气时的湍流产生 —— 湍流不仅会破坏腔体内部的稳定环境，还可能吹起残留颗粒或扰动硅片，影响制程精度，而该过滤器的平稳气流设计则彻底规避了这一风险。

为确保产品品质与洁净度，该过滤器全程在洁净室环境内完成制造、测试与包装，每一台设备均通过 100% 完整性测试和 100% 氨气泄露检测，杜绝任何潜在的泄漏隐患与品质问题。针对不同半导体工厂的安装空间与工艺需求，恒歌还提供定制化设计服务，让设备能灵活适配各类终端布局，进一步提升使用便捷性与兼容性。

产品特点：

1、全金属 316L 不锈钢结构：耐极端工况，耐用性更强

2、0.003um 高精度过滤：拦截微小颗粒，保障气体超纯

3、快速排气设计：适配真空腔体放气需求，提升效率

4、抑制湍流产生：维持气流平稳，保护工艺环境

5、双重严格检测：100% 完整性 + 氨气泄露检测，品质可靠

作为半导体大宗气体终端的关键过滤设备，深圳恒歌这款全金属气体过滤器，以 “高洁净、高稳定、高适配” 的核心优势，为晶圆制程工艺提供持续可靠的气体保障，助力半导体企业实现更高效、更优质的生产。