半导体制造超纯气体扩散器丨VCR316L 真空 3 纳米过滤器

在半导体制造领域，每一个环节都关乎着产品的质量与性能。深圳恒歌的 DF 系列扩散器专用过滤器，作为一款专为半导体制程中真空腔体快速放气应用设计的产品，正以其卓越的性能，为半导体制造工艺带来新的变革。

这款半导体制造超纯气体扩散器，巧妙地结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性。其过滤精度可达 0.003um，能够精准地拦截气体中的微小颗粒，为半导体制造提供超纯的气体环境。无论是光刻、刻蚀还是沉积等工艺，都离不开这样高纯度的气体支持，从而有效保障芯片制造的精准度和稳定性。

独特的全 316L 不锈钢结构是该产品的一大亮点。这种材质不仅确保了高效过滤，还能巧妙地规避湍流的产生。在半导体制程中，湍流可能会对工艺室环境造成严重影响，比如吹起颗粒或者吹起硅片，进而影响产品质量。而恒歌的扩散器专用过滤器则有效解决了这一难题，为工艺室提供稳定、洁净的环境。

可定制化设计也是这款产品备受青睐的原因之一。它能够灵活适应各类安装空间，无论是空间紧凑的小型工厂，还是布局复杂的大型制造车间，都能轻松找到合适的安装方案。这种定制化服务，充分体现了恒歌以客户需求为导向的设计理念。

产品特点：

1、不锈钢粉末烧结介质：可快速排气，满足真空腔体快速放气的需求，提高生产效率。

2、整体 316L 不锈钢结构：耐腐蚀、耐高温、耐高压，保障长期稳定运行。

3、减少工艺腔体排气时的湍流：有效防止对工艺室环境的干扰，确保产品质量。

4、适用于多种工艺气体：无论是常见气体还是特殊工艺气体，都能完美适配。

5、洁净室环境内制造、测试、包装：严格遵循高标准，保证产品洁净度。

6、100% 完整性测试通过：每一个产品都经过严格检测，质量可靠。

恒歌半导体制造超纯气体扩散器，凭借其出色的性能和可靠的品质，成为半导体制造企业提升工艺水平、提高产品合格率的理想选择。