实验室超纯气体管道过滤器丨高纯气体管道系统过滤器

实验室超纯气体管道主要用于输送电子级高纯气体(如高纯氩气、高纯氦气)，应用于半导体材料制备、微电子实验等高端领域，气体纯度直接影响实验样品的性能和检测结果。

使用过滤器的原因

即使是高纯度气源，在管道输送过程中也可能受到微量微粒污染，这些污染物会导致半导体芯片缺陷、纳米材料制备失败，需通过超纯过滤器实现极致净化。

过滤器介绍

恒歌实验室气体管道超纯过滤器采用 316L 不锈钢全材打造，搭配 UHP 级滤芯，可清除 0.003μm 以上超细微粒，气体净化后纯度达 99.9999%，安装方式与实验室标准管道完美适配。

过滤器特点

▶ 超纯级过滤精度，满足电子级气体要求

▶ 低死体积设计，减少气体残留

▶ 耐高温、耐高压、耐腐蚀性能优异

▶ 洁净室环境生产，避免二次污染

▶ 100% 氨气检漏与完整性测试

产品应用

半导体实验室、纳米材料实验室、微电子研发中心的超纯气体管道系统，适配各类高纯惰性气体和工艺气体。