恒歌扩散器专用不锈钢过滤器是专为半导体制程中真空腔体快速放气应用精心设计的高性能过滤设备。它巧妙地融合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，实现了在快速排气的同时，对微小颗粒的高效过滤，过滤精度高达0.003um，为半导体制造过...

DF系列扩散器专用过滤器，专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。独特的全316L不锈钢结构，不仅确保高效过滤，更巧妙的规避了湍流产生，...

RF 系列多孔金属限流器是一种专为压缩气体供应管线和气体分配歧管设计的安全装置，旨在防止因气体管线破裂、阀门或压力调节器故障引起的意外高气体流量。通过与不同规格的气阻配件结合，RF 系列限流器能够有效保护气体流量的稳定性和可靠性，减少气体流...

恒歌RF 系列多孔金属限流器通过与不同规格的气阻配件灵活组合，可便捷安装于压缩气体供应管线和气体分配歧管中。在半导体制程气体输送分配系统等对气体流量稳定性要求极高的场景下，它能有效防止意外高气体流量，保护系统稳定可靠运行，减少气体流动负担，...

适用于高压工况下的气体及液体过滤，体积小，安装方便，为高压运行系统提供了相当高的技术和经济优势。产品应用范围广，与大多数高纯度半导体工艺气体具有良好的兼容性；微纳米颗粒过滤能力保持高流量效率，超小压降

不锈钢气源处理器三联件由空气过滤器、减压阀和油雾器三大元件组成。该产品采用不锈钢材质，具有耐腐蚀、结构精巧、工艺精良等特点。空气过滤器用于净化气源，过滤压缩空气中的水分和杂质；

气压传动系统中，气源处理件是指空气过滤器、减压阀和油雾器，三大件无管连接而成的组件称为三联件。三大件是多数气动系统中不可缺少的气源装置，安装在用气设备近处，是压缩空气质量的后保证。它的安装顺序依进气方向分别为空气过滤器、减压阀和油雾器。空气...

恒歌不锈钢高纯气体系统过滤器对于超纯气体可通过多级处理满足工况要求，产品无焊接部位，耐压性能、安全系数极高，适用于高压工况下的气体及液体过滤，体积小，安装方便，为高压运行系统提供了相当高的技术和经济优势。为一些超高压工况研发设计，具有结构简...

​恒歌高压气体过滤器主要用于过滤空气、氧气、二氧化碳、氢气、氮气等各类高压气体，能够有效去除气体中的颗粒物、水分、油分等杂质，确保气体的纯净度和质量，为下游工艺提供可靠的气体供应。

恒歌TF 系列全焊接直通型过滤器是一种用于过滤气体或液体中颗粒污染物的设备，具有全焊结构、高精度过滤等特点。

扩散器专用过滤器，专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。独特的全316L不锈钢结构，不仅确保高效过滤，更巧妙的规避了湍流产生，对工艺室...

RF系列多孔金属限流器、通过与不同规格的气阻配件结合、安装在压缩气体供应管线和气体分配歧管中、以防止由于气体管线破裂、阀门或压力调节器故障、引起的意外高气体流量。在半导体制程气体输送分配系统中、用于保护气体流量稳定可靠、减少气体流动负担、避...