
恒歌国产VCR过滤垫片是一种专为高纯气体输送系统设计的高性能密封元件,广泛应用于半导体、制药、化工等对气体纯度要求极高的领域。它通常由316L不锈钢等优质金属材料制成,具有耐高温、耐腐蚀、耐高压的特性,能够在高达400C的环境下稳定工作。

在半导体高压工艺气路中,气体的净化与流量控制往往需要分开设备实现,不仅增加了气路复杂度,还可能引入额外的泄漏风险。深圳恒歌研发的高压双卡套过滤器直通过滤阀,将 “高压过滤” 与 “直通控制” 功能集成一体,为半导体高压气路提供 “净化 + ...

恒歌 HF 系列氢气特气柜专用过滤器,专为高压氢气输送场景设计,采用防爆型 316L 不锈钢结构,严格遵循氢气安全标准,设计压力 50Mpa,可高效滤除氢气中的油雾、水分、金属颗粒及碳氢化合物,保障特气柜系统安全稳定运行。

洁净压缩空气管道用于电子制造、医药包装、食品加工、精密机械等行业,提供无油、无尘、无水的压缩空气,作为生产动力或直接接触产品的介质,其洁净度直接影响产品质量与设备寿命。

半导体气体装置是半导体制造的核心设备集群,包括气体存储钢瓶、减压阀、气体分配柜(GDC)、流量控制器(MFC)等,负责半导体制程中气体的存储、分配、精准输送,其气体净化水平直接决定芯片良率,需满足 ppb 级甚至 ppt 级的纯度要求。

CVD 化学气相沉积供气系统是半导体、光伏、精密陶瓷等行业的核心工艺设备,通过将反应气体精准输送至沉积腔体,在基材表面形成均匀薄膜,其供气纯度直接决定薄膜质量与器件性能,是高端制造业的关键环节。

实验室超纯气体管道主要用于输送电子级高纯气体(如高纯氩气、高纯氦气),应用于半导体材料制备、微电子实验等高端领域,气体纯度直接影响实验样品的性能和检测结果。

验室气源(如钢瓶气、空压机)或长距离管道中可能夹带的颗粒物和液滴,会磨损阀门、堵塞精密喷嘴或污染反应腔室。安装F直通型过滤器可有效拦截这些污染物,保护下游设备。恒歌过滤器适用于实验室气路、实验室气体管道、实验室集中供气系统工程。

集成电路作为电子产业的 “粮食”,通过在半导体晶圆上构建亿级晶体管阵列实现数据处理功能,其制程已进入 3nm 甚至 2nm 时代,广泛应用于 AI 芯片、存储设备、智能终端等高端领域。晶圆制造需经历光刻、刻蚀、沉积等数十道精密工序,根据 I...

薄膜沉积过程中,气体若含有微粒或烃类污染物,会导致薄膜孔洞、剥落或电性失效。例如,在CVD工艺中,颗粒物可能成为成核点,引起不均匀沉积;在PVD中,污染物可能干扰溅射靶材的纯度。过滤器能消除湍流和颗粒携带问题,确保气流平稳,防止工艺腔体污染...

实验室气路系统是科研、检测领域的关键基础设施,为色谱仪、质谱仪、材料分析设备等提供稳定、高纯的气体供应,广泛应用于半导体材料研发、化学分析、生物医药检测等场景,其气体洁净度直接影响实验数据的准确性。

BF系列大宗气体专用过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003um,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决...