为何选择恒歌SF 系列 IGS 面板专用过滤器？

一、极致的过滤效能

在半导体行业中，气体的纯净度直接决定了产品的质量与良率。恒歌SF 系列 IGS 面板专用过滤器脱颖而出的关键在于其卓越的过滤能力。它能够实现 0.003μm 级高效颗粒过滤，这意味着哪怕是极其微小的杂质颗粒都难以逃过它的 “法眼”。同时，保障 9 - LRV 清洁度，为半导体生产过程提供了一个近乎纯净的气体环境。无论是芯片制造中的光刻、蚀刻等精细工序，还是其他对气体纯度要求极高的环节，恒歌SF 系列过滤器都能有效去除可能影响产品质量的杂质，大大降低次品出现的概率。

二、出色的流量适配与设备兼容性

半导体生产设备往往需要稳定且较大流量的气体供应，恒歌SF 系列过滤器恰好能满足这一需求。它支持高达 100slpm 的大流量，确保在设备运行过程中不会因气体流量不足而导致生产中断或效率降低。而且，它兼容 C 型和 W 型多种密封规格，这使得它能够与半导体行业集成气体输送与控制系统中的各种设备完美适配，无论是现有的生产线升级改造，还是新生产线的建设，恒歌SF 系列过滤器都能轻松融入，真正做到助力设备升级无忧，为企业的生产扩张和技术升级提供了有力保障。

三、坚固耐用且精巧的设计

其全 316L 不锈钢构造是一大亮点。不锈钢材质本身就具备耐高温、耐高压、耐腐蚀的特性，再加上电解抛光处理的 316L 不锈钢外壳，不仅进一步提升了其抗腐蚀能力，还使过滤器表面更加光滑，减少了杂质吸附的可能性。小型化设计与紧凑的结构让它在空间有限的半导体生产车间中不会占据过多宝贵空间。同时，采用机械密封且结构上与介质无焊接的设计，既保证了良好的密封效果，防止气体泄漏，又使得安装与检修便捷高效。在半导体行业争分夺秒的生产节奏中，这种设计能够有效减少设备停机维护的时间，提高整体生产效率。

四、利于系统集成与长期稳定运行

恒歌SF 系列过滤器采用符合 SEMI 标准的表面安装元件，这为系统集成带来了极大的便利。它能够与其他半导体设备无缝对接，便于进行模块化设计升级，使整个集成气体输送与控制系统更加灵活、高效。长期来看，其稳定的性能和低维护成本能够确保在半导体生产过程中持续稳定地运行，为企业节省大量的人力、物力和时间成本，是半导体企业追求高品质、高效率生产的理想选择。

恒歌SF 系列LGS面板专用过滤器特点：

▶ 整体316L不锈钢结构

▶ 小型化设计、结构紧凑、不占用空间优异的气体置换和解吸特性

▶ 耐高温、耐高压、耐腐蚀

▶ 电解抛光316L不锈钢外壳

▶ 安装与检修便捷高效

▶ 采用机械密封、结构上与介质无焊接

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