恒歌微电子半导体过滤器：从 IGS 面板到高压系统的 “全场景适配” 之道！

半导体制造的气体输送系统如同 “精密血管网络”，从集成气体输送(IGS)面板到高压气体箱，不同节点对过滤的需求千差万别。恒歌科技微电子半导体过滤器系列以 “场景化设计” 为核心，用 SF、HF 等系列产品实现全场景精准适配。

针对 IGS 面板的集成需求，SF 系列 IGS 面板专用过滤器展现出 “小而精” 的优势。其紧凑体型融合全焊接与机械密封技术，不占用多余空间，却能实现 0.003μm 级过滤精度，保障 9-LRV 清洁度 —— 这意味着每升气体中的微粒残留可控制在极低水平。同时，它兼容 C 型和 W 型密封规格，支持 100slpm 大流量，无论是新建系统还是设备升级，都能快速集成，大幅降低改造成本。

而在高压气体输送场景中，HF 系列高压气体专用过滤器则以 “强而稳” 立足。它以 50Mpa 设计压力适配高压系统，316L 不锈钢结构在高压下仍能保持密封性，同时通过高效过滤介质拦截尘埃、油雾等杂质。更关键的是，其轻量化设计减少了安装承重压力，螺纹连接方式让检修时的滤芯更换更便捷，避免高压系统因维护复杂导致的停机风险。

无论是 SF 系列的 “模块化集成” 还是 HF 系列的 “高压适配”，恒歌科技的设计始终围绕两个核心：一是满足 SEMI 标准的兼容性，确保与现有系统无缝对接;二是通过全金属结构与严苛测试(如 100% 氨气检漏)保障长期可靠性。这种 “按需定制” 的思路，让过滤器不再是系统中的 “附加组件”，而是提升整体稳定性的关键一环。

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